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低溫高真空泵

發(fā)布時間:2011-6-24 9:52:01 | 閱讀次數(shù):1485次

低溫高真空泵

低溫高真空泵(Cryogenichigh-vacuumPump),又稱保溫泵、冷泵、冷凝泵,它可以高速抽取各種氣體,既可以為科學(xué)研究提供潔凈的超高真空環(huán)境(可以達到10-9Pa的超高真空),又可提供超低溫的測試環(huán)境。
  它又是一種高效、耐用、應(yīng)用范圍很廣的超高真空泵。在保溫泵技術(shù)發(fā)展的過程中最重大的突破是G-M(Gifford-McMahon)制冷循環(huán)的應(yīng)用和二十世紀六十年代活性炭的應(yīng)用,這種保溫泵大量用于計算機芯片、半導(dǎo)體、平板顯示、數(shù)據(jù)記錄硬體和光電器件的制造過程中。
 保溫泵系統(tǒng)通常需要24h連續(xù)運轉(zhuǎn),全年365天持續(xù)工作。在日常運行中可能發(fā)生種種故障,對保溫泵的制冷能力和抽氣特性產(chǎn)生影響。國內(nèi)對保溫泵系統(tǒng)的故障也曾經(jīng)進行了初步的研究但內(nèi)容還遠不能滿足解決大量實際問題的需求。
目前國內(nèi)引進的保溫泵越來越多,培養(yǎng)一個熟練掌握保溫泵性能的維修人員,不但需要大量的理論培訓(xùn),而且需要長時間的實踐訓(xùn)練,成本高、周期長。雖然保溫泵維修手冊中包含了一些故障處理方面的內(nèi)容,但并不全面和具體,遠不能滿足技術(shù)人員在實際維護中的需要。上海正奧泵業(yè)制造有限公司實踐經(jīng)驗的總結(jié),是對保溫泵維護手冊的補充,可為使用保溫泵的科技人員提供一些現(xiàn)場檢修的實際指導(dǎo),對提高檢修效率降低檢修成本有一定的實用意義。

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